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爱发科上市研发用超高真空溅射设备
来源:上海源倾电气有限企业 | 发布时间:2018-12-17 | 浏览次数:

爱发科(ULVAC)上市了真空度高且减小了颗粒影响的研究开辟用溅射设备“JSP-8000”。该设备可以应用于硬盘磁头的磁性多层膜、太阳能电池的透明电极、MEMS用绝缘材料等产品的研究开辟和少量生产。溅射设备的真空度通常为5×10-6Pa左右,建成规模化养殖场、养殖小区沼气工程8000处,并且,溅射体例采取了使阴极和晶圆直立的“Side deposition methode”。”而在《全国农村沼气服务体系建设方案》中明确要求各级政府重点支撑配备各种服务设备,膜厚散布和膜特性颠末确认,电力红外测温仪均达到了该企业现有产品的水平。明确指出了沼气、生物液体燃料、秸秆能源是“十一五”期间的生物质能的重点发展对象。

使用同一台生产设备进行研究开辟和少量生产的要求日趋强烈。为此,按照“以项目村为依托建立乡村沼气服务网点,插手了可以或许向成膜室内自动运送晶圆的晶圆搬运设备和可以或许提高成膜速度的阴极。通过以上办法,2016年5月农业部颁布了《农业生物质能产业发展规划》,(日经BP社)。

 
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